自动灭火系统中的开式系统，平时敞开的管道不能满足洁净车间无尘无菌的要求;闭式系统管道中又经常充满灭火介质，免不了偶有泄漏，污染空气，所以自动灭火系统不宜用于净化车间。
为防止起火和燃烧，便利疏散与抢救，对防火墙间最大允许占地面积和防火分隔以及疏散路线等，一般应比其他建筑有更高的要求。出入口或拐弯处应有紧急照明灯。使用易燃液体和气体的电子厂净化车间，应安装排风设备，操作台应有独立的排风装置。易燃液体蒸气和气体的尾气管应与排风系统分开。
高灵敏度早期烟雾探测装置的消防安全设施联动试运转，应符合下列要求：
1，应按工程设计文件的相关要求进行调试，并达到相关技术指标；
2，在洁净室内各专业验收合格后进行；
3，联动试运转应在各子系统试车验收合格后进行；
4，联动试运转应包括事故排风装置、气体自动切断装置等安全设施；
5，应遵守相关的现行国家标准的要求；
6，联动试运转应以相关主管部门的认可为合格。
消防、安全设施的各类火灾报警装置、气体报警装置、广播通讯设施以及它们的控制系统的电气线路的施工安装，应符合下列规定：
1， 接至洁净室（区）内的垂直线路应穿管安装，共穿墙、顶棚时，应采用气密构造，并以防火填料进行可靠填堵；
2， 电气线路应选用阻燃电缆。
