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半导体芯片洁净车间0.1微米尘埃离子计算方式
2018-05-14 11:42:04   来源:   评论:0 点击:

重庆洁净车间 重庆净化车间 重庆无尘车间-在命名上基本可分为两类:一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名。
这种命名方法以美国FS-209A~E版为代表,其规定粒径为0.5μm,以空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名,如标准中的100级,表示空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名,即每立方英尺的空气中≥0.5μm粒径的粒子数量为100个。二是以单位体积空气中≥规定粒径的粒子个数以10n表示,按指数n命名空气洁净度的等级,这种命名方法以日本JISB9920为代表,其规定粒径为0.1μm,以空气中≥0.1μm粒径的粒子浓度(采用国际单位制)10pc/m3命名为n级。
洁净室的空气洁净度,应进行下列测试:
空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。
静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。
动态测试:洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

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