防火分区和分隔：
(一)一般要求甲、乙类生产的洁净厂房，宜采用单层厂房。其防火墙间最大允许占地面积，单层厂房应为3000m2，多层厂房应为2000m2。
(二)其他要求
1)防火分区之间应采用防火墙分隔。
2)丙、丁、戊类生产厂房当喷淋保护等级以严重危险级设置时，其防火分区可扩大一倍。
3)丁、戊生产厂房安装自动灭火系统时，防火分区面积不限，如局部安装自动灭火系统时，增加面积可按该局部面积的一倍计算。
4)洁净厂房的技术夹层与其直接服务的生产区域视为同一防火分区。
5)在一个防火分区内，其洁净生产与非洁净生产区域之间应设置非燃烧体隔墙完整分隔。
消防设施配置：
(一)消防给水和室内消火栓洁净厂房必须设置消防给水设施
1)洁净室(区)的生产层及上下技术夹层(不通行的技术夹层除外)，应设置室内消火栓。
2)室内消火栓的用水量不应小于10L/s，同时使用水枪数不应少于2支，水枪充实水柱不应小于10m，每只水枪的出水量不应小于5L/s。
(二)自动灭火设备
1．自动喷水灭火系统自动喷水灭火系统已成为洁净厂房消防系统的首选配置。
洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间设置固定灭火设施时，除设置水灭火系统之外，目前较为广泛使用的还有二氧化碳、IG541、三氟甲烷和七氟丙烷等洁净气体灭火系统。
（三)火灾自动报警系统
洁净厂房应设置火灾自动报警系统及消防联动控制，洁净厂房的生产层、技术夹层、机房、站房等均应设置火灾报警探测器，生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。
(五)灭火器配置
二氧化碳灭火剂灭火后不留痕迹，不污损、腐蚀保护物品，在洁净室内得到普遍使用。
(六)疏散标志和应急照明
洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在专用消防扑救口处应设置红色应急照明灯。
